2017年7月24日 (月)

単純構造のシリコン太陽電池で変換効率20%達成

2017年7月18日
大阪大学研究情報
 
詳細は、リンクを参照して下さい。
 
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成果のポイント
 
・反射防止膜を使用しない単純構造の
 結晶シリコン太陽電池で、変換効率20%
 を達成
 
・10秒~30秒の短時間の簡単な溶液処理
 で、3%以下の極低反射率を実現
 (従来技術では20分程度の処理で
  反射率10%以上)
 
・単純構造の太陽電池による低コスト化と
 高効率化によって、太陽電池で最も重要
 な発電コストの低減に大きく寄与
 
 
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概要
 
 大阪大学産業科学研究所の小林光教授と
今村健太郎助教らの研究グループは、
10秒~30秒の簡単な溶液処理によって、
3%以下の反射率※1のシリコンウェーハを
形成する方法(図1参照)を開発しました。
 
 この技術を結晶シリコン太陽電池に
用いて、反射防止膜を形成しない極単純な
構造の太陽電池で、20%の変換効率を
達成しました。
 
 従来技術では、シリコン表面に
ピラミッド構造※2を形成することで
低反射にしていましたが(図2左図参照)、
低反射処理に約20分を要し、
そのうえ反射率は10%以上と
あまり低くすることはできませんでした。
 
 その結果、プラズマCVD法※3等の
高価な方法を用いて反射防止膜を
形成する必要がありました。
 
 今回開発した技術により、太陽電池の
製造コスト低減が期待されます。
 
 本研究成果の一部は、
学術誌「Solar RRL」2017年7月号に
掲載されました。
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 素晴らしい。
 コスト低減に大きく寄与とのこと。
 
 
 
>結晶シリコン太陽電池は、市販太陽電池
>の約90%を占める最も重要な
>太陽電池です。
 
>本技術は、単結晶と多結晶シリコン
>太陽電池の両方に用いることのできる
>汎用性の高い技術です。
 
>従来太陽電池の製造が困難であった
>安価な固定砥粒法で製造される
>多結晶シリコンウェーハは、
>従来技術では低反射構造の
>形成が困難で、太陽電池にはほとんど
>使用されていません。
 
>しかし、この安価な
>固定砥粒法・多結晶シリコンを、
>本技術では容易に極低反射率化すること
>ができ、太陽電池に用いることが
>できます。
 
>開発した技術を用いれば、太陽電池の
>製造コストを約2割低減できると
>期待されます。
 
 
 コスト低減は重要です。
 出来るだけ早く商用化製品に適用
されるようになると良いですね。
 期待しています。

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2017年7月23日 (日)

世界初!金属触媒を用いない高分子の合成に成功-環境負荷の小さい高分子材料や半導体ポリマーの製造にも期待-

2017年07月13日
名古屋工業大学プレスリリース
 
詳細は、リンクを参照して下さい。
 
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発表のポイント
 
○金属触媒ではなく、有機分子触媒(注1)
 を用いたポリビニルエーテルの合成に
 世界で初めて成功しました。
 
○有機分子触媒、開始剤、反応温度を
 系統的に調査し、金属触媒に匹敵する
 合成成果が得られる最適条件を
 決定しました。
 
○今回用いた有機分子触媒は分離回収が
 容易であり、再利用も可能と
 考えられます。
 
○微生物によって分解される性質をもつ
 高分子や半導体ポリマーの製造にも
 期待されます。
 
 
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研究の概要
 
 高分子の中でも、ビニルエーテルを
モノマーとした重合で得られる
ポリビニルエーテルは、身近な塗料や
接着剤にも利用されるため、
より効率的で高性能、かつ環境負荷の
小さい重合が国内外で古くから研究されて
きました。
 
 一般的な手法として、電子対を受取る
金属ルイス酸を触媒に用いた
精密カチオン重合(注2)が数多く
報告されています。
 
 しかし、使用した金属触媒を高分子内
から完全に取り除くことは難しく、
利用用途によっては、高分子内に残った
金属が反応を起こし、時間経過とともに
高分子の着色や機能低下につながる
恐れがあることから、金属触媒を
完全に取除く方法、もしくは金属触媒を
使用しない精密重合が求められています。
 
 今回、名古屋工業大学大学院の
高木幸治准教授らは、金属ルイス酸触媒に
かわり、同様に電子対を受取る性質を
有したハロゲン元素によるハロゲン結合を
利用し、金属触媒を用いない
ビニルエーテルの精密カチオン重合に
世界で初めて成功しました(図2)。
 
 ビニルエーテルの一種である
イソブチルビニルエーテルを
モノマーとして金属触媒に匹敵する
重合成果が得られる最適条件を
決定しました。
 
 その結果、反応溶媒にCH2Cl2
(ジクロロメタン)を用いて、
冷却下で重合を行う必要があるなど、
実用化までに残された課題は
存在するものの、安定で取扱いの容易な
触媒を用いたビニルエーテルの重合が
可能であることを
明らかにしました(図4)。
 
 なお、今回用いた有機分子触媒は、
沈殿操作による分離回収が
容易であるため、再利用も可能であると
考えられます。
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 実用化までにはまだ課題が残されて
いるようですが、素晴らしい。
 
 
>本研究成果は、Wiley社が発行する雑誌
>「Chemistry - A European Journal」に
>5月30日に掲載され、
>編集委員会が重要論文として
>ハイライトするHot Paperに
>選出されました。
 
 
 良いですね。大いに期待したい。

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2017年7月17日 (月)

インキュベータ内で培養中の細胞を観察できる蛍光イメージング装置を開発

2017年6月
東芝研究開発センター
 
詳細は、リンクを参照して下さい。
 
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概要
 
 当社は、インキュベータ(注1)内で
培養する細胞集団の蛍光像(注2)を、
対物レンズを用いることなく可視化する
イメージング装置を技術開発しました。
 
 本開発品は、細胞集団の中から
単一の細胞を個別に判別することが
可能で、従来比3分の1(注3)の
空間分解能10μm未満を世界で初めて
達成しました(注4)。
 
 本開発品の詳細は、台湾で開催される
国際会議「Transducers 2017」にて、
6月20日(現地時間)に発表します。
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 「レンズレスイメージング」
知りませんでした。
 
 興味深いやり方ですね。
 利点もいろいろありそうです。
 
 
 
>当社は、今回技術開発した
>蛍光イメージング装置の事業化に向けて、
>あらゆるパートナー企業との連携を
>目指すとともに、顧客に提供する価値
>の更なる向上のために研究開発を
>進めていきます。
 
 
 期待したいと思います。

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2017年7月16日 (日)

世界初、実海域において海流発電の100kW級実証試験を実施へ

2017年7月7日
国立研究開発法人
新エネルギー・産業技術総合開発機構
株式会社IHI
 
詳細は、リンクを参照して下さい。
 
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 NEDOと(株)IHIは、海流エネルギーを
利用して発電する
新たな再生可能エネルギー技術である
水中浮遊式海流発電システムの
100kW級実証機「かいりゅう」を、
IHI横浜事業所で完成させました。
 
 今夏、鹿児島県十島村口之島沖の
黒潮海域で、実際に海流を利用した
100kW規模の海流発電においては
世界初となる実証試験を行います。
 
 NEDOは、エネルギーが強く、
変動が少ない海流エネルギーについて、
新しい再生可能エネルギー源として
期待しています。
 
 特に離島などでの実用化を目指す
と共に、エネルギーセキュリティーへの
貢献を目指します。
 
 (株)IHIは、今回の実証試験により
発電性能や姿勢制御システムを検証し、
海流エネルギーを有効かつ経済的に
利用する水中浮遊式海流発電システムを
2020年に実用化することを目指します。
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 エネルギーが強く、変動が少ない
海流エネルギー。
 
 良さそうです。
 
>2020年に実用化することを目指します。
 とのことで期待しています。
 
 再生可能エネルギーの導入比率は
もっと積極的に上げていくべきだと
思っています。

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2017年7月11日 (火)

東京工業大学とNEC、AIで悪条件下の視認性を格段に向上する「マルチモーダル画像融合技術」を共同開発

2017.06.05
東京工業大学ニュース
 
詳細は、リンクを参照して下さい。
 
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 国立大学法人東京工業大学 工学院
奥富正敏教授、田中正行特定准教授らの
研究グループ(以下、東京工業大学)と
NECは、一般カメラで撮影した可視光画像
と、熱をとらえるサーモカメラなどで
撮影した非可視光画像を、
AIを用いて自動的かつ効果的に合成し、
それぞれの画像単独では捉えにくかった
対象物・状況の視認性を格段に高める
「マルチモーダル※1画像融合技術」を
共同開発しました。
 
 本技術により、瞬時の視認が必要となる
様々な分野で、悪条件下でも正しい
状況判断が可能になります。
 
 例えば、夜間や濃霧などの悪天候下
でも活用可能な施設監視、対向車の眩しい
ヘッドライトや暗闇による死角があっても
運用できる自動運転支援、
建物のひび割れなど表面だけでなく
内部の異常まで検査可能にする
インフラ点検などです。
 
 従来、異なる種類のカメラの画像を
合成するには、専門家による手動での
複雑な変換作業が必要でした。
 
 本技術は、それぞれのカメラから
得られた画像をAIによって、
効果的かつ自動的に合成することで
この手作業を不要にします。
 
 さらに、可視光画像と非可視光画像の
それぞれの長所を積極的に活用すること
で、従来は視覚化が困難だったシーンでも
高い視認性が得られます。
 
 東京工業大学とNECは、今後も産学連携
の仕組みを通じて、さまざまな
社会インフラを安全・安心に運用する
セーフティ事業の鍵となる画像処理
ならびにAI関連技術の研究開発を
進めていきます。
 
 
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新技術の特長
 
・複数の画像から視認性が高い部分を
 AIが自動的に選択し、かつ非可視光画像
 に含まれるわずかな特徴を強調しながら
 合成することで、従来の限界を打ち破る
 高い視認性を実現
 
・サーモカメラやテラヘルツカメラ
 といったカメラの種類や、
 環境の特性
 (明るさ、光線の方向、障害物の有無
  など)に応じて、AIが画像内の
 各部分の視認性の度合いを評価、
 各画像から最適な領域のみを
 自動的に抽出
 
・さらに、非可視カメラの画像中の、
 異常や危険物などに関するわずかな特徴
 をAIが解析し、白とびや黒潰れなどの
 画像破たんが生じない、
 適切な強調の度合いを判断しながら、
 従来にない高い視認性を持つ
 マルチモーダル(可視―非可視)な
 融合画像を自動的に生成
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 AI(多分深層学習ですね)の応用例
です。
 
 画像認識に関わるもので、いろいろ
出て来ますね。
 
 
 
>複数の画像から視認性が高い部分を
>AIが自動的に選択し、かつ非可視光
>画像に含まれるわずかな特徴を強調
>しなが合成することで、従来の限界
>を打ち破る高い視認性を実現。
 
 
 面白い応用ですね。
 今後に期待しています。

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2017年7月 9日 (日)

30秒更新10分後までの超高速降水予報を開始~最新鋭気象レーダを活用したリアルタイム実証~

平成29年7月4日
理化学研究所
情報通信研究機構
首都大学東京
大阪大学
科学技術振興機構
 
詳細は、リンクを参照して下さい。
 
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 理化学研究所(理研) 計算科学研究
機構 データ同化研究チームの
三好 建正 チームリーダーと
情報通信研究機構 電磁波研究所の
佐藤 晋介 研究マネージャー、
首都大学東京 大学院システムデザイン
研究科の牛尾 知雄 教授
(大阪大学 大学院工学研究科
 招へい教授)らの
国際共同研究グループは、
最新鋭気象レーダを生かした
「3D降水ナウキャスト手法」を開発し、
30秒毎に更新する10分後までの
降水予報のリアルタイム実証を
開始しました。
 
 降水分布の予測手法として、
気象レーダが捉える降水パターンの動きを
追跡し、将来もそのまま動き続けると
仮定して予測する
「降水ナウキャスト手法」が知られて
います。
 
 この手法は、シミュレーションと比べて
計算量が大幅に少ないのが利点ですが、
予測精度が急速に低下するという欠点が
あります。
 
 また平面上の降水パターンを追跡する
もので、雨粒の鉛直方向の動きを
考慮しないものでした。
 
 そこで、国際共同研究グループは、
30秒毎という高頻度で60km遠方まで
の雨粒を隙間なくスキャンする最新鋭の
「フェーズドアレイ気象レーダ注1)」の
ビッグデータを降水予報に生かすため、
観測された雨粒の立体的な動きを捉え、
将来もそのまま動き続けるという
仮定の下で予測する
「3D降水ナウキャスト手法」を
開発しました。
 
 今回、大阪大学に設置された
フェーズドアレイ気象レーダの
データを用いて、リアルタイムに
予測を実行するシステムを構築し、
世界初となる30秒更新10分後までの
降水予報のリアルタイム実証を
開始しました。
 
 この降水予報は、気象庁の許可を得て、
理研がインターネット上
(https://weather.riken.jp)で
可能な限り発表します。
 
 本成果は、10分後までという
短時間の予測情報であっても、
適切に利用されれば、生活や防災等に
役立てられるものと期待できます。
 
 また本成果とは別に、
三好チームリーダーらは2016年、
スーパーコンピュータ「京」注2)と
フェーズドアレイ気象レーダを生かした
「ゲリラ豪雨注3)」予測手法を開発し、
リアルタイムではありませんが
30分後までの高精細なゲリラ豪雨の
予測にも成功しています※1)。
 
 これらの技術を生かすことで、
将来、これまで想像もつかなかったような
超高速かつ超高精細な天気予報が
可能になると期待されます。
 
 3D降水ナウキャスト手法に関しては、
アメリカ気象学会による科学雑誌
『Weather and Forecasting』
(2016年2月号)に掲載され、
いくつかの実験結果が米国IEEEによる
科学雑誌『Proceedings of the IEEE』
(2016年11月号)に掲載されました。
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 素晴らしい。
 
 ゲリラ豪雨が多発している昨今、
ゲリラ豪雨の予測もさることながら
このような超高速降水予報も適切に
利用することで、現在より、より防災に
役立つものだと思います。
 
 
 
>ゲリラ豪雨により、わずか10分の間に
>急激に川の水位が上昇したり、
>浸水が起こったりするなど、
>わずか数分の対応の遅れが致命的になる
>ことがあります。
 
>10分後までの予測情報であっても、
>適切に利用されれば、
>防災に役立てられる可能性があります。
 
>また、生活上も有効に利用されることが
>期待できます。
 
>30秒更新という超高速な降水予報は、
>これまでにない新しいものになります。
 
>これが有効に活用されるためには、
>予報の配信方法や、受け手の受け取り方、
>対応の仕方など、多くの課題があります。
 
>これらの課題に取り組むには、
>実際に定常的に配信を行う実証実験が
>必要です。
 
>理研は、スマホアプリ
>「3D雨雲ウォッチ
> ~フェーズドアレイレーダ~」を
>開発運用する株式会社エムティーアイ
>(エムティーアイ)と共同研究※2)を
>実施しており、本研究で開発した
>3D降水ナウキャストによる
>10分後予測情報をスマホアプリを
>通じてリアルタイム配信する
>研究を進めています。
 
>今後、エムティーアイが実際に配信を
>はじめ、利用者からのフィードバックを
>得ながら、共同して予測情報の
>有効な活用方法を探っていきます。
 
>また本成果とは別に、
>三好チームリーダーらは
>2016年、スーパーコンピュータ
>「京」とフェーズドアレイ気象レーダを
>生かした「ゲリラ豪雨」予測手法を
>開発し、リアルタイムではありませんが
>30分後までの高精細なゲリラ豪雨の
>予測にも成功しています※1)。
 
>これらの技術を生かすことで、
>将来、これまで想像もつかなかった
>ような超高速かつ超高精細な
>天気予報が可能になると期待されます。
 
 
 大いに期待しています。
 
 これまで想像もつかなかったような
超高速かつ超高精細な天気予報が
可能になると良いですね。

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2017年7月 8日 (土)

高温超伝導の立役者、決定的証拠を観測―電子とのやりとりの全容を解明へ―

2017年7月6日
大阪府立大学プレスリリース
 
詳細は、リンクを参照して下さい。
 
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 広島大学放射光科学研究センターの
井野明洋特任准教授と、
大阪府立大学大学院工学研究科の
安齋太陽助教、
東京大学大学院理学系研究科の
内田慎一名誉教授らを中心とする
研究グループは、
広島大学放射光科学研究センターの
高輝度シンクロトロン放射光(解説1)と
世界最高水準の高分解能・角度分解光電子
分光(解説2)装置を用いることで、
高温超伝導発現の鍵を握る「立役者」の
決定的証拠を、とらえることに
成功しました。
 
 超伝導現象を演じているのは
電子の集団です。
 
 しかし、高温超伝導体に関しては、
電子の背後で暗躍している
「立役者」の正体をめぐって、
激しい論争が続いていました。
 
 今回、銅酸化物高温超伝導体(解説3)
への正孔添加量を極度に増やすことで、
電子と「立役者」のやりとりの痕跡を
くまなく観測することに成功しました。
 
 その痕跡が、格子振動の分布と
完全に一致したため、電子の背後にいる
「立役者」が格子振動と特定され、
高温超伝導の謎の核心部分が
解明されました。
 
 この知見は、さらなる高温超伝導体の
探索を導く有力な手がかりを与えるもの
と期待されます。
 
 
-----
研究成果のポイント
 
・高温超伝導を担う電子が、格子振動と
 最も強く結合している証拠を
 とらえました。
 
・高温超伝導に関与する複数の格子振動の
 全容を解明し、長年の論争を
 解決しました。
 
・無損失送電線などに用いられる
 高温超伝導体の探索指針を与えると
 期待されます。
 
 
プレスリリース詳細は こちら
---------------------------------------
 
 高温超伝導の研究は重要です。
 もっと安価なMRI等が実現するはず。
 
 
>本研究により、電子の背後の「立役者」
>をめぐる長年の論争が解決され、
>電子と格子振動の間のやりとりの様子
>が、鮮明に描き出されました。
 
>本成果は、高温超伝導の研究を次の段階
>に導く突破口として、
>基礎および開発研究への波及効果が
>見込まれます。
 
>今回得られた知見は、電子と格子振動の
>やりとりの観点から、
>さらなる高温超伝導体の探索を導く指針
>を与え、高温超伝導体を用いた
>無損失送電線や超強力電磁石の材料開発
>を促進するものと期待されます。
 
 
 大いに期待したい。

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2017年7月 7日 (金)

植物への病原菌感染に新機構 植物の病原菌感染を防ぐ画期的な薬剤の開発に期待

2017年5月17日
東北大学プレスリリース
 
詳細は、リンクを参照して下さい。
 
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発表のポイント
 
・植物病原菌感染の新しい仕組みの解明
 
・病原菌感染と害虫に対する植物の抵抗性
 はコインの裏表の関係で、
 同時に強化することはできないと
 されていたが、それを復す発見
 
・植物の病原菌感染を防ぐ画期的な薬剤
 の開発につながる
 
 
-----
概要
 
 世界の農作物生産量の15%は
病害によって失われており、
これは5億人分の食料に相当します。
 
 病害による農作物損失の解決は
世界的課題です。
 
 植物病原菌は、葉の表面の開口した
気孔から植物体内に侵入して感染します。
 
 これに対して植物は、気孔を閉鎖して
感染を防ぎます。
 
 さらにこれに対抗して病原菌は、
病原因子を分泌して気孔を再開口させ、
体内に侵入します。
 
 病原因子は植物の虫害に対する
抵抗性機構をハイジャックして作用する
ため、その作用を抑えて感染に対する
抵抗性を高めると、虫害に対する抵抗性が
低下するというジレンマがありました。
 
 東北大学大学院理学研究科上田実教授、
理化学研究所袖岡有機合成化学研究室
/環境資源科学研究センター袖岡幹子
主任研究員
/グループディレクター、
名古屋工業大学材料科学フロンティア
研究院築地真也教授らは、
病原因子の気孔再開口作用に、
これまで知られていた機構以外にも
小胞体の関与するバイパス機構が
関与することを発見しました。
 
 新規機構は、虫害への抵抗性には
影響しないことから、
この新規機構に基づいて、植物の病原菌
感染を防ぐ画期的な薬剤の開発が
期待されます。
 
 
詳細は こちら
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 「5億人分の食料に相当」ってすごい量
ですね。
 
 「アルキンタグ生細胞
  ラマンイメージング技術」
 高度な技術のようです。
 
 ジレンマもあり、解析が難しかった
ということのようです。
 
 
>細菌感染と虫害に対する植物の抵抗性
>は、互いにコインの裏表の関係にあり、
>片方を強化するともう片方が弱体化する
>というジレンマがありましたが、
>これを復す発見と言えます。
 
>この新規機構に基づいて、
>植物の病原菌感染を防ぐ画期的な薬剤
>の開発が期待されます。
 
 
 画期的な薬剤が開発されると良い
ですね。期待しています。

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2017年7月 5日 (水)

アンモニアを直接燃料とした燃料電池による1キロワットの発電に成功

平成29年7月3日
京都大学
科学技術振興機構(JST)
 
詳細は、リンクを参照して下さい。
 
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 アンモニアを直接燃料とした
固体酸化物形燃料電池(SOFC)注1)
で、世界最大規模(1キロワット(kW)
クラス)の発電に成功しました。
 
 国立大学法人 京都大学、
株式会社ノリタケカンパニーリミテド、
株式会社IHI、株式会社日本触媒、
株式会社豊田自動織機、
三井化学株式会社、
株式会社トクヤマは共同研究により、
アンモニア燃料電池の世界最大規模の
発電に成功しました。
 
 アンモニア(NH3)はそれ自身が
水素を多く含んでおり、
エネルギーキャリア注2)として
期待されています。
 
 今回、アンモニアを燃料として
直接SOFCスタック注3)(図1)に
供給し、1kWの発電に成功しました
(図2:発電結果、発電効率)。
 
 これまでも小規模な発電には成功して
いましたが、研究開発の結果、
汎用SOFCと同程度の発電出力を
達成できたことで、アンモニアが
SOFCの燃料として適しており、
有害物質や温暖化ガスの発生を伴わない
発電が実用規模まで拡大できる可能性を
示すことができました。
 
 アンモニアのエネルギーキャリア
および燃料としての利用技術の
大きな進展となり、CO2フリー発電の
実現が期待されます。
 
 この技術の詳細は、
2017年7月9日~12日に
チェコ共和国プラハで開催される
「The 7th World
 Hydrogen Technology
 Convention」で発表されます。
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 良いですね。
 CO2フリー発電の実現に期待したい。
 
 
 
>アンモニア燃料を用いて1kW級の
>コンパクトなパッケージ実証機を
>作製し、運転を行う予定です。
 
>将来的にアンモニア燃料電池は、
>分散型電源として業務用の発電などへの
>展開も期待されます。
 
 
 商用化までにはまだ時間がかかる
かな?
 
 アンモニアは水素より作成効率が
良いので期待したい。
 
 水から電気分解での水素製造は
あまりに効率が悪い。
 
 関連リンク
 
 
 アンモニアを合成する方法は
いろいろあるので期待出来ると
思う。

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2017年7月 3日 (月)

不揮発性磁気メモリーMRAMのための3次元積層プロセスを開発~新世代単結晶MRAM製造の可能性を拓く~

平成29年5月16日
産業技術総合研究所
科学技術振興機構(JST)
内閣府政策統括官
(科学技術・イノベーション担当)
 
詳細は、リンクを参照して下さい。
 
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ポイント
 
○MRAMの3次元積層プロセス技術を
 初めて実現。
 
○3次元積層プロセスによる
 MRAM動作特性の劣化が無いことを
 実証。
 
○単結晶薄膜の使用による
 MRAMの超高性能化の可能性を拓く。
 
 
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 国立研究開発法人 産業技術総合研究所
(以下「産総研」という)
スピントロニクス研究センター
金属スピントロニクスチーム
薬師寺 啓 研究チーム長、
集積マイクロシステム研究センター
高木 秀樹 総括研究主幹、
ウエハレベル実装研究チーム
倉島 優一 主任研究員、
ナノエレクトロニクス研究部門
3D集積システムグループ
菊地 克弥 研究グループ長、
渡辺 直也 主任研究員は、
内閣府 総合科学技術・イノベーション
会議(CSTI)が主導する
革新的研究開発推進プログラム
(ImPACT)の佐橋 政司
プログラム・マネージャーの
研究プログラムの一環として、
次世代の不揮発性メモリー注1)である
磁気ランダムアクセスメモリー
(MRAM)注2)の3次元積層注3)
プロセス技術を開発した。
 
 MRAMは垂直磁化TMR素子注4)を
ベースとする記録ビットと、
ビット選択に用いる半導体トランジスタ
(CMOS)注5)、
金属配線(通常、多結晶の銅配線)
からなり、通常、垂直磁化TMR素子薄膜
(TMR薄膜)は、CMOS形成後に
金属配線上に直接形成される
(逐次積層)。
 
 MRAMの大容量化には、原子レベルの
不均一性や凹凸によるTMR薄膜の
バラツキ抑制や、材料の選択が重要だが、
多結晶銅配線上へのTMR薄膜形成では
バラツキ抑制や材料の選択肢には
限界がある。
 
 今回、CMOS形成ウエハー
(今回は銅電極形成ウエハーで代用)と
TMR薄膜ウエハーを別体形成した後に
圧着して接合する、
3次元積層プロセス技術による
TMR素子の作製に世界で初めて
成功した。
 
 この技術開発によりウエハーの別体形成
が可能になったことで、薄膜のバラツキが
極めて小さく、高性能材料候補の選択肢が
広い単結晶材料注6)をMRAM製造に
用いる目途が立った。
 
 これにより、MRAMの飛躍的な
大容量化と高性能化につながると
期待される。
 
 この技術の詳細は、
2017年5月15日に
「Applied Physics
 Express」にオンライン掲載
された。
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 次世代の不揮発性メモリー(MRAM)
の製品化に目処がたったということ
ですね。素晴らしい。
 
 世界をリードして貰いたい。
 
 
 
>現在、単結晶TMR薄膜の開発を
>進めている。
 
>今後2年以内に単結晶TMR薄膜と
>CMOSウエハーの3次元積層プロセス
>を確立し、
 
>5年以内に3次元積層MRAMの
>製品開発の着手を目指す。
 
 
 スケジュール通り実現出来るよう
大いに期待しています。

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