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2014年9月22日 (月)

産総研、超平面ガラス基板を開発 - 関東平野に5mm程度の凹凸があるレベル

2014/07/25 マイナビニュース
 
詳細は、リンクを参照して下さい。
 
少し時間が経ってしまいましたが、
面白そうなな話題なので、投稿して
おきます。
 
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 産業技術総合研究所(産総研)は7月24日、
平面度λ/100(約6.3nm)と、関東平野の広さ
に対して5mm程度の凹凸が存在するレベルの
超高精度平面ガラス基板を開発したと
発表した。
 
 同成果は、同所 計測標準研究部門
長さ計測科 長さ標準研究室の
尾藤洋一研究室長、近藤余範主任研究員ら
によるもの。
 
 テクニカルと共同で行われた。
 
 詳細は、9月16~18日に鳥取大学にて
開催される「精密工学会」で発表される。
 
 現在、製造現場で用いられている
平面度測定装置の測定精度はλ/20(約32nm)
程度だが、この超高精度平面ガラス基板を
基準板として組み込むと、その測定精度が
λ/100程度に向上する。
 
 これにより、製造現場における平面度の
測定・評価精度が向上することで、平面鏡
やプリズムなどのさまざまな光学部品の
加工精度の向上が期待できるとコメント
している。
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 凄いです。
 
 工作精度もだんだん向上していきます。
 
 どんな製品に成果が発揮されるのかな?
 
 期待したい。

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