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2011年7月17日 (日)

新しいインクジェット印刷法による有機半導体単結晶薄膜の製造技術

新しいインクジェット印刷法による
有機半導体単結晶薄膜の製造技術

2011年7月14日 産業技術総合研究所

詳細は、リンクを参照して下さい。

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 独立行政法人 産業技術総合研究所
【理事長 野間口 有】(以下「産総研」
という)フレキシブルエレクトロニクス
研究センター【研究センター長 鎌田 俊英】
長谷川 達生 副研究センター長、山田 寿一
主任研究員、峯廻 洋美 産総研特別研究員
らは、新たなインクジェット印刷法を
用いて、シート上の任意の位置に
有機半導体単結晶薄膜を作製する技術を
開発した。

 この技術により、薄型ディスプレーなど
の大面積電子機器に必須である
薄膜トランジスタ(TFT)の性能を、従来の
印刷法による有機TFTに比べて100倍以上
向上させることができた。

 さらに、薄膜の単結晶性を大学共同利用
機関法人 高エネルギー加速器研究機構
(以下「KEK」という)の施設を用いて
確認できた。

 印刷法による電子デバイス製造技術
(プリンタブルエレクトロニクス技術)
は、軽い・薄い・落としても壊れない
という特徴を備えた情報通信端末機器
(フレキシブルデバイス)の実現や、
それらの省資源・省エネルギー製造を
可能にする近未来技術として期待されて
いる。

 今回、有機半導体を溶解させたインク
と有機半導体の結晶化を促す
インクをミクロ液滴として交互に印刷する
新手法(ダブルショットインクジェット
印刷法)により、分子レベルで平坦な
有機半導体単結晶薄膜の作製に成功した
(図1)。

 この技術により作製した有機TFTは、
移動度が最高で31.3 cm2/Vsと現在の
液晶ディスプレーに用いられている
アモルファスシリコンTFTを大幅に超える
性能を示した。

 また、従来の印刷法で作製した有機TFT
と比較すると100倍以上の性能であり、
有機TFTとしては世界最高性能を示した。

 この技術は、フレキシブルデバイスの
研究開発を大きく加速すると期待される。

 この成果の詳細は、英国の学術誌Nature
に 2011年7月14日(日本時間)に
オンライン掲載される予定である。
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良さそうですね。

>この技術により、薄型ディスプレーなど
>の大面積電子機器に必須である
>薄膜トランジスタ(TFT)の性能を、
>従来の印刷法による有機TFTに比べて
>100倍以上向上させることができた。

>有機TFTとしては世界最高性能を示した。
ということです。

素晴らしい成果です。

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