電子顕微鏡の性能世界一奪還可能な電子源開発

電子顕微鏡の性能世界一奪還可能な電子源
開発
2010年9月9日　サイエンスポータル

詳細は、リンクを参照して下さい。

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　電子顕微鏡の分解能を飛躍的に高める
可能性がある電子源を物質・材料研究機構の
研究チームが開発した。

　同機構一次元ナノ材料グループの唐 捷
グループリーダーとZhang Han 研究員は、
現在、電子顕微鏡に用いられている電子源を
材料だけでなく電子放射法も換えることで、
性能を高めることに挑んだ。

　まず、現在、電子源として使われている
タングステンより優れていることは分かって
いたが、倍以上硬いために適当な加工法が
なかったランタンホウ化物(LaB6)を、化学
気相堆積法という手法を用いて単結晶ナノ
ワイヤをつくり出した。
　さらに熱源を高温にして熱電子を放射
させる現在の方式に比べ、はるかに高輝度
で細く絞った電子ビームを放射できる電界
放射方式を採用できる電子源とすることに
成功した。
　ナノワイヤ表面から不要な不純物を除去
する方法も開発した。

　透過型電子顕微鏡や走査型電子顕微鏡の
技術で日本はかつて世界一の技術を誇り、
重要な輸出品となっていた。
　しかし、現在は米国、ドイツに追い抜か
れている。
　最近、国内で開発された高性能レンズと、
今回、開発されたLaB6単結晶ナノワイヤ
電界放射型電子源を合わせることで、再び
世界一の透過型電子顕微鏡を開発することも
可能だ、と研究者たちは言っている。
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素晴らしい。
世界一でないと駄目なんです。

詳細は、科学技術振興機構へのリンクも
ありますので参照してください。